稀釋氣入口數 |
1 |
輸入氣體壓力 |
(100~200)kPa |
標氣入口數 |
3 |
響應時間(T95) |
≤60S |
稀釋氣質量流量控制器 |
(0~10)L/min(可擴展) |
稀釋率(標準) |
1:100~1:5000 |
標氣質量流量控制器1 |
(0~100)ml/min(可擴展) |
輸出通道 |
3 |
標氣質量流量控制器2 |
(0~20)ml/min(可選) |
臭氧發生范圍 |
(25~1000)ppb |
流量準確度 |
±1.0%F.S |
臭氧重復性 |
≤1% |
流量重復度 |
0.5%F.S |
工作環境溫度 |
(0~40)℃ |
線性誤差 |
≤±1.0%F.S |
紫外光度計最低檢出限 |
≤3ppb |
紫外光度計精度 |
≤1ppb |
重量:23kg 尺寸:(430x570x225)mm |